½ºÆÐÀÎ damascene ±â¹ýÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁø ¸Ú½º·¯¿î Ææ´øÆ®ÀÔ´Ï´Ù.
(damascene-½ºÆäÀÎ Åç·¹µµ Áö¹æ¿¡¼ ÁÖ°í ¸¸µé¾îÁ³°í ÀϺ»¿¡¼´Â ¸ðÄí¸Þ°¡³× µîÀ¸·Î ºÒ·È´ø ¿©·¯ Ä÷¯ÀÇ ¸ÞÅ»À» »ç¿ëÇÑ »ó°¨±â¹ý)
¼¶¼¼ÇÑ ÇÁ·¹ÀÓÀÇ ½¦ÀÔÀÌ ¸Å·ÂÀûÀÔ´Ï´Ù. »çÁøÀÇ Ã¼ÀÎÀº ¿É¼ÇÀ¸·Î ¼±ÅÃÇÏ½Ã¸é ±¸¸Å°¡´ÉÇϽʴϴÙ.
Ææ´øÆ® ¾à 3.6*4¼¾Æ¼ üÀÎ ¾à 62¼¾Æ¼ ÄÁµð¼Ç-9/10 Ææ´øÆ® µÞ¸é ¸ÞÅ»¿¡ ¼¼¿ù°¨ º¸ÀÔ´Ï´Ù. »çÁøÀ» Âü°í ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.
|